近日，臺灣著名科技媒體Digitimes英文網(wǎng)發(fā)表了關(guān)于中國MEMS產(chǎn)業(yè)的系列文章，表達(dá)了其對中國MEMS產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展的看法和贊許，并對歌爾微電子、敏芯股份、美新半導(dǎo)體、深迪半導(dǎo)體、納芯微電子、飛恩微電子、明皜傳感、西人馬等多家中國MEMS代表性企業(yè)做了分析、介紹。
Digitimes創(chuàng)立于1998年，其出版的《電子時報》是臺灣創(chuàng)辦的第一家產(chǎn)業(yè)報紙。據(jù)稱，由于『電子時報』仍是臺灣電子業(yè)供應(yīng)鏈專屬媒體，包括施振榮、郭臺銘、蔡明介、許勝雄等多位業(yè)界領(lǐng)袖，都表示每日閱讀電子時報是取得產(chǎn)業(yè)信息最快捷的管道。
我們來看看Digitimes怎么看待中國大陸的MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展情況吧。
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2020 年初爆發(fā)的 COVID-19 疫情導(dǎo)致熱成像和紅外 (IR) 溫度測量設(shè)備需求激增，許多紅外熱傳感器產(chǎn)品出現(xiàn)。
同時，新冠疫情導(dǎo)致居家隔離和遠(yuǎn)程工作需求激增，促進(jìn)了 5G網(wǎng)絡(luò)的部署、非接觸式語音對話和數(shù)據(jù)中心的發(fā)展。這加速了射頻濾波器、MEMS 振蕩器和 MEMS 麥克風(fēng)的持續(xù)增長，使 MEMS 傳感器成為當(dāng)今最熱門的領(lǐng)域之一。
中國MEMS制造商正在努力突破
作為全球最大的電子和工業(yè)生產(chǎn)基地，中國消耗了全球近50%的MEMS元件。
根據(jù)賽迪顧問的數(shù)據(jù)，到2021年，中國MEMS傳感器的平均復(fù)合年增長率為15%，高于全球9.6%的水平。然而，由于我國MEMS傳感器研究起步較晚，自動化程度低，產(chǎn)業(yè)發(fā)展遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于市場需求。
但是，自2006年中國開始重點(diǎn)發(fā)展MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)以來，政府出臺了多項(xiàng)發(fā)展政策來支持和規(guī)范該產(chǎn)業(yè)。這些政策涵蓋了MEMS傳感器發(fā)展的技術(shù)路徑、MEMS傳感器的發(fā)展目標(biāo)以及MEMS傳感器應(yīng)用的推廣。
中國企業(yè)利用這些政策，開始追趕行業(yè)。近年來，國內(nèi)涌現(xiàn)出幾家優(yōu)秀的MEMS傳感器企業(yè)，成為半導(dǎo)體市場不可忽視的生力軍。
歌爾微電子：中國最大的MEMS公司
歌爾微電子（Goermicro）是歌爾股份的分拆公司，起源于歌爾股份在2004年進(jìn)入微電子領(lǐng)域，成立的MEMS技術(shù)研發(fā)中心，該中心于2005年申請了第一個MEMS技術(shù)專利。
2009年，該中心與英飛凌科技合作量產(chǎn)MEMS聲學(xué)傳感器。同年，蘋果智能手機(jī)為大型商業(yè)應(yīng)用開啟了MEMS聲學(xué)傳感器的新紀(jì)元，為歌爾提供了絕佳的發(fā)展機(jī)遇。歌爾的MEMS聲學(xué)傳感器自2011年進(jìn)入蘋果供應(yīng)鏈以來，在全球MEMS聲學(xué)傳感器的排名中不斷上升。歌爾微電子于2017年正式成立。
此后，歌爾微電子一直位居 Yole 的頂級 MEMS 制造商之列，而且只有這家中國公司能做到這一點(diǎn)。從營收來看，歌爾微電子已從2019年的第9名和2018年的第11名上升到2020年的第6名。在MEMS麥克風(fēng)方面，歌爾聲學(xué)在2020年首次超越行業(yè)龍頭樓氏電子（Knowles）。
▲歌爾股份/歌爾微市場占有率排名（來自歌爾微招股書）
2021年12月，歌爾正式分拆歌爾微，并計劃在深交所創(chuàng)業(yè)板上市。當(dāng)時，業(yè)內(nèi)分析人士認(rèn)為，歌爾可以讓歌爾微獨(dú)立，專注于MEMS半導(dǎo)體的研發(fā)。然而，由于 COVID-19 大流行的影響，2022 年 3 月，歌爾微的創(chuàng)業(yè)板IPO 暫停。（小編注：歌爾微電子現(xiàn)已恢復(fù)上市審核。）
盡管被暫停，但業(yè)界對歌爾微的上市仍持樂觀態(tài)度。歌爾表示，預(yù)計此次暫停審核不會對歌爾微的整體 IPO 流程產(chǎn)生重大影響。
敏芯股份：中國MEMS本土化產(chǎn)業(yè)鏈拓荒者
歌爾微電子取得突破的背后，是中國智能手機(jī)和智能音箱市場的快速增長。真無線立體聲 (TWS) 耳機(jī)的流行，尤其是蘋果 AirPods 2 對語音喚醒和 AirPods Pro 主動降噪的巨大需求，幫助推動了 MEMS 麥克風(fēng)市場的增長。
近年來，市場追隨者持續(xù)增長，而樓氏電子等主要參與者的市場份額則持續(xù)下降。中國制造商歌爾、瑞聲科技和敏芯股份，以及臺灣的鈺太科技（ZillTek Technology）和 美律實(shí)業(yè)（Merry），都是全球 MEMS 麥克風(fēng)市場的主要參與者。
這些中國廠商不僅進(jìn)入了蘋果、華為等主流智能手機(jī)品牌的供應(yīng)鏈，還擁有全球一半的市場份額。
敏芯股份作為國內(nèi)首家在A股發(fā)行的MEMS公司，備受市場關(guān)注。敏芯股份成立于2007年，自成立以來專注于MEMS麥克風(fēng)芯片的研發(fā)，是國內(nèi)最早研究MEMS傳感器的公司之一。目前，其主要產(chǎn)品線包括MEMS麥克風(fēng)、MEMS壓力傳感器和MEMS慣性傳感器。
敏芯股份在MEMS傳感器設(shè)計、晶圓制造、封裝測試方面擁有獨(dú)立的研發(fā)能力和核心技術(shù)。敏芯股份還可以獨(dú)立設(shè)計ASIC芯片，為MEMS傳感器芯片提供信號轉(zhuǎn)換、處理和驅(qū)動功能，實(shí)現(xiàn)整個MEMS傳感器制造過程的國產(chǎn)化。
事實(shí)上，敏芯股份是國內(nèi)為數(shù)不多的，具有各類MEMS傳感器芯片自主設(shè)計和量產(chǎn)能力的企業(yè)之一。
敏芯股份副總經(jīng)理張辰良（Carl Zhang）表示，國內(nèi)的MEMS傳感器整體工藝隨著時間的推移逐漸成熟，前幾年很少有其他傳感器廠商參與。
如今，敏芯股份涵蓋了從設(shè)計到制造再到封裝的六大產(chǎn)品生態(tài)系統(tǒng)，具有 MEMS 傳感器的全產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)。
關(guān)于晶圓代工廠，敏芯股份與華潤微電子 (CR Micro) 和中芯國際 (SMIC) 密切合作。關(guān)于芯片封裝，敏芯股份與華天科技（HT-Tech）合作。
此外，敏芯股份擁有四家子公司。全資子公司德斯倍（DSBEL Electronics ）專注于MEMS 傳感器的封裝和測試 。全資子公司芯儀微電子（Xinyi Microelectronics）主要從事ASIC芯片的研發(fā)和設(shè)計。全資子公司昆山靈科（Link Sensing），其主要產(chǎn)品是傳感器模塊。另一家控股公司，則專注于為智能物聯(lián)網(wǎng)解決方案構(gòu)建智能傳感器。
MEMS傳感器不僅依賴于先進(jìn)的設(shè)計，還依賴于制造。通過與晶圓廠合作，投資建設(shè)自己的封裝生產(chǎn)線，敏芯股份逐漸開發(fā)出具有差異化的產(chǎn)品，達(dá)到業(yè)內(nèi)的先進(jìn)水平，并沖擊高端市場。敏芯股份副總經(jīng)理張辰良說。他補(bǔ)充道，MEMS 傳感器是一種非常獨(dú)特的產(chǎn)品，需要非常特殊的工藝，并且該行業(yè)正在向IDM垂直整合發(fā)展。
現(xiàn)階段，公司針對MEMS麥克風(fēng)的高端市場是品牌智能手機(jī)和智能音箱供應(yīng)鏈。
敏芯股份已經(jīng)進(jìn)入了幾個頭部品牌的供應(yīng)鏈，但要做到放量還需要一些時間，敏芯股份副總經(jīng)理張辰良說，我們已經(jīng)跨越了品牌客戶的門檻，我們的下一個重點(diǎn)是加快各方之間的合作。
在其MEMS聲學(xué)傳感器中，除了MEMS麥克風(fēng)外，敏芯股份還有骨傳導(dǎo)傳感器。敏芯股份是中國最早引進(jìn)骨傳導(dǎo)傳感器技術(shù)的公司之一，這是一個增量市場，主要專注于耳機(jī)和 AR/VR 應(yīng)用。未來發(fā)展和擴(kuò)大應(yīng)用場景，需要全產(chǎn)業(yè)鏈的協(xié)同配合。
中國MEMS廠商關(guān)注物聯(lián)網(wǎng)（IoT）
許多中國 MEMS 傳感器公司，如美新半導(dǎo)體和深迪半導(dǎo)體，都非常關(guān)注物聯(lián)網(wǎng) (IoT)。
美新半導(dǎo)體：全球第一家上市的MEMS公司
美新半導(dǎo)體創(chuàng)始人趙陽曾在美國模擬器件龍頭Analog Devices (ADI，亞德諾)的MEMS部門工作。1999年，趙陽說服ADI投入技術(shù)和資金成立了美新。
繼ADI投資后，美新在美國籌資2500萬美元成立美新（無錫）。2007年，美新成為全球第一家在納斯達(dá)克上市的MEMS公司。
2018年，美新被華燦光電收購。然而，華燦光電第二年賣掉了美新。2020年，美新拆分為獨(dú)立公司。
美新半導(dǎo)體在無錫建設(shè)了8英寸MEMS磁、慣性傳感器封測產(chǎn)線。根據(jù)紹興濱海新區(qū)管委會2021年7月的公告，美新半導(dǎo)體將在紹興建設(shè)MEMS磁傳感器生產(chǎn)線及加速度傳感器工藝開發(fā)實(shí)驗(yàn)線，該產(chǎn)線預(yù)計年產(chǎn)6億顆MEMS芯片。
隨著單一芯片電容式傳感器技術(shù)的成功部署，美新已成為中國領(lǐng)先的電容式加速度計公司之一，地磁傳感器產(chǎn)品出貨量位居全球前兩位。
2021年，美新進(jìn)軍真無線立體聲（TWS）藍(lán)牙耳機(jī)和可穿戴市場。成功推出并量產(chǎn)了下一代超低功耗地磁傳感器和霍爾傳感器、AMR 地磁產(chǎn)品、電容式加速度計和熱加速度計等產(chǎn)品，在智能手機(jī)和物聯(lián)網(wǎng)市場中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
深迪半導(dǎo)體：獲得華為哈勃領(lǐng)投1.2億元融資
在這波物聯(lián)網(wǎng)浪潮下，深迪半導(dǎo)體也是其中有力的競爭者之一。
深迪半導(dǎo)體（Senodia）成立于2008年，由留學(xué)回國的知名技術(shù)專家創(chuàng)立。它是中國最早設(shè)計和制造商用MEMS芯片的公司之一。深迪半導(dǎo)體還獲得了美國風(fēng)險投資公司 Draper Fisher Jurvetson (DFJ) 和中國電子集團(tuán) (CEC) 的天使投資。
2015年，深迪半導(dǎo)體發(fā)布國內(nèi)首款集成6軸IMU傳感器，已量產(chǎn)，深受廣大客戶好評。它可用于手機(jī)、平板電腦、TWS耳機(jī)、游戲控制器和電動牙刷等主流消費(fèi)電子產(chǎn)品中。2019年，深迪半導(dǎo)體成功研發(fā)并量產(chǎn)首款MEMS陀螺儀芯片，打破了多家歐美公司的壟斷。
據(jù)官網(wǎng)介紹，深迪半導(dǎo)體已開發(fā)出具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的先進(jìn)MEMS工藝和集成技術(shù)。他們專注于為消費(fèi)電子和汽車電子市場設(shè)計和制造低成本、高性價比、低功耗和小型商用 MEMS 陀螺儀芯片。
此外，深迪半導(dǎo)體還建立了中國首個大型MEMS陀螺儀校準(zhǔn)測試基地，以滿足快速增長的新興消費(fèi)電子市場的需求。
2021年8月，深迪半導(dǎo)體完成了由華為哈勃科技領(lǐng)投的1.2億元E輪融資。據(jù)業(yè)內(nèi)人士透露，哈勃的競標(biāo)重點(diǎn)是涵蓋半導(dǎo)體的自主研發(fā)技術(shù)，并與華為的核心產(chǎn)品密切相關(guān)。
中國MEMS瞄準(zhǔn)汽車領(lǐng)域
智能手機(jī)和 5G 應(yīng)用，以及其他下游終端市場的強(qiáng)勁需求，促使MEMS 傳感器公司快速增長。但是今天，消費(fèi)電子產(chǎn)品已經(jīng)達(dá)到了增長瓶頸。隨著市場走弱，業(yè)界開始尋找MEMS傳感器的另一個新市場——汽車電子。
事實(shí)上，汽車電子是MEMS產(chǎn)品最早的應(yīng)用領(lǐng)域之一，主要是壓力和慣性傳感器。隨著智能汽車的發(fā)展，汽車安全要求和標(biāo)準(zhǔn)不斷提高，擴(kuò)大了汽車MEMS傳感器的應(yīng)用范圍。
例如，通過在自動變速器中加入MEMS傳感器，可以動態(tài)測量車輛上下坡時的角度，實(shí)時調(diào)整傳動比，防止人為判斷和操作失誤。主動控制系統(tǒng)中的 MEMS 傳感器測量轉(zhuǎn)彎時的角速度，檢測方向盤是否完全轉(zhuǎn)動，并自動為內(nèi)外輪胎添加適當(dāng)?shù)膭x車，使汽車保持在車道上。在車載空氣凈化系統(tǒng)中，MEMS 傳感器可以實(shí)時檢測空氣質(zhì)量并進(jìn)行智能調(diào)節(jié)，以保持空氣新鮮和清潔。
汽車領(lǐng)域MEMS傳感器的廣闊市場，促使中國MEMS傳感器制造商將目光投向了這一市場。
納芯微電子：中國半導(dǎo)體股市史上最貴股票
納芯微電子于2013年5月成立于蘇州工業(yè)園區(qū)，進(jìn)軍傳感器信號調(diào)理ASIC芯片市場。在不到 10 年的時間里，它已成為汽車傳感器領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者。
納芯微電子最早生產(chǎn)的傳感器信號調(diào)理芯片是客戶定制的。因此，在2014年能夠快速量產(chǎn)、交付并實(shí)現(xiàn)盈利。
公司穩(wěn)定后，創(chuàng)始人王升楊和他的團(tuán)隊(duì)開始向數(shù)字隔離器、壓力傳感器等工業(yè)控制和汽車產(chǎn)品擴(kuò)展。2017年，納芯微電子實(shí)現(xiàn)了汽車級芯片的首次量產(chǎn)。如今，他們的產(chǎn)品已成為新能源汽車（NEV）和工控自動化的關(guān)鍵芯片，也成功進(jìn)入多個行業(yè)的Tier 1客戶供應(yīng)鏈，實(shí)現(xiàn)規(guī)?；慨a(chǎn)。
根據(jù)納芯微電子的展望，其汽車級芯片已被比亞迪、東風(fēng)汽車、上汽通用五菱汽車、長城汽車、上汽大通汽車、一汽集團(tuán)和寧德時代（CATL）使用，同時，還進(jìn)入了上汽大眾汽車、聯(lián)合汽車電子公司（UAES）和森薩塔科技的供應(yīng)鏈。
納芯微電子的業(yè)務(wù)目前主要集中在三個類別。2020年?duì)I業(yè)收入的53.78%來自集成傳感器芯片，44.33%來自隔離和接口芯片，0.39%來自驅(qū)動和采樣芯片，定制服務(wù)占比1.49%。
2022年4月22日，納芯微電子在上海科創(chuàng)板掛牌上市。（小編注：納芯微上市情況可參看《穩(wěn)了！中國傳感器史上最貴IPO誕生！產(chǎn)業(yè)春天到來!》內(nèi)容）
飛恩微電子：已實(shí)現(xiàn)數(shù)千萬只汽車前裝配套
飛恩微電子（FineMEMS）是一家成立于2011年的高科技公司，專注于為汽車、物聯(lián)網(wǎng)、智能家居和工控行業(yè)提供MEMS傳感器和系統(tǒng)。基于工藝應(yīng)力模型封裝技術(shù)和高效批量標(biāo)定測試算法，公司建立了數(shù)條全球領(lǐng)先的單件流全自動化生產(chǎn)線，產(chǎn)品已覆蓋整車所有壓力傳感器應(yīng)用，已實(shí)現(xiàn)數(shù)千萬只汽車前裝配套。
2021年6月，飛恩微電子完成過億元戰(zhàn)略融資。飛恩微電子總經(jīng)理王小平表示，戰(zhàn)略資金為飛恩微電子在智能家居及新能源汽車領(lǐng)域的布局打下了堅實(shí)的基礎(chǔ)。
此前，飛恩微電子已獲得朗盛投資集團(tuán)、F&G Ventures、CTC Capital、SBCVC、長江證券等投資方多輪融資。
明皜傳感：獲消費(fèi)電子巨頭小米的投資
明皜傳感成立于2011年，是蘇州固锝的子公司，主要從事MEMS傳感器芯片和組件的工藝開發(fā)和設(shè)計。其主要產(chǎn)品包括加速度計、陀螺儀（開發(fā)中）、壓力傳感器、磁傳感器和MEMS麥克風(fēng)。
明皜傳感的傳感器產(chǎn)品主要用于家用電器，但隨著智能汽車的趨勢，它們也在向汽車市場擴(kuò)展。蘇州固锝此前指出，明皜傳感加速度計廣泛應(yīng)用于汽車電子、可穿戴設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備、網(wǎng)絡(luò)通信等領(lǐng)域。
2021年8月，明皜傳感獲得小米投資，注冊資本由6444萬元增至7085萬元，增幅9.96%。業(yè)內(nèi)人士表示，小米的加入增強(qiáng)了明皜傳感與下游客戶的協(xié)同效應(yīng)，增加了客戶資源，擴(kuò)大了小米汽車供應(yīng)鏈的范圍。
中國的紅外傳感器在新冠疫情下耀眼
COVID-19 大流行使非接觸式快速測溫設(shè)備（例如紅外測溫槍和紅外熱像儀）成為預(yù)防和控制新冠疫情的必需品。中國紅外傳感器制造商正以此為契機(jī)，滿足龐大的國內(nèi)防疫需求，并銷往海外，西人馬就是這樣一家公司。
西人馬 UTC
西人馬聯(lián)合測控（泉州）科技有限公司（西人馬UTC）成立于2017年，是集成設(shè)備制造商（IDM）西人馬的子公司。西人馬 UTC 是西人馬的 MEMS 高端傳感器和芯片制造基地。擁有6000多平方米的超凈車間和先進(jìn)的微納實(shí)驗(yàn)室，擁有配備8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能傳感器芯片產(chǎn)線和中國先進(jìn)的MEMS器件加工平臺。
2020年，西人馬提議將紅外溫度模塊集成到智能手機(jī)中，以滿足新冠疫情期間對緊湊、便攜、準(zhǔn)確、快速讀取、低成本的個人溫度計的需求。
西人馬以其先進(jìn)的技術(shù)而備受關(guān)注。2019年11月，西人馬獲得數(shù)千萬A輪融資。2020年第一季度，西人馬獲得1億元A+輪融資。2021年3月獲得B輪融資。
西人馬已成為中國領(lǐng)先的MEMS IDM芯片公司，批量生產(chǎn)IR和加速度計芯片和傳感器。我們還繼續(xù)銷售紅外熱成像芯片、MEMS壓力芯片、MEMS芯片壓力調(diào)節(jié)芯片和加速度計芯片。未來，我們計劃發(fā)布硅麥克風(fēng)芯片和消費(fèi)級陀螺儀芯片。
結(jié)語
目前，MEMS傳感器市場需求旺盛，市場規(guī)模不斷擴(kuò)大。中國支持市場的政策的積極作用是顯而易見的。近年來，資金不斷流入MEMS產(chǎn)業(yè)，中國MEMS企業(yè)正在帶動國產(chǎn)MEMS產(chǎn)品的快速發(fā)展。
中國MEMS傳感器企業(yè)仍處于成長初期，但正在努力追趕行業(yè)巨頭。此外，隨著物聯(lián)網(wǎng)、智能汽車和5G技術(shù)的發(fā)展，中國MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)將持續(xù)增長。
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來源：Digitimes英文網(wǎng)（由動感傳感整理、編譯、校對、補(bǔ)充資料）
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